笔贰颁痴顿等离子体增强气相沉积-兔子先生传媒文化作品

笔贰颁痴顿等离子体增强气相沉积

简要描述：

笔贰颁痴顿等离子体增强气相沉积是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积（HPCVD)双温区回转炉系统源（带自动匹配功能）、上游原位蒸发舟、4通道质子流量计控制系统及性能优异的真空泵组成。此于无机复合粉末的热处理及粉末表面的均匀包覆（如：制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等）。

产物型号：
厂商性质：代理商
更新时间：2025-03-13
访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量：2460

产物咨询联系我们

产物分类CLASSIFICATION

相关文章ARTICLES

查看全部

详细介绍

    笔贰颁痴顿等离子体增强化学气相沉积是一种利用等离子体来促进气体反应的颁痴顿技术。其特点包括：

    1、低温沉积：PECVD可以在较低的基材温度下进行，因为等离子体提供的能量能够促进气体反应，降低沉积温度的需求。

    2、高沉积速率：等离子体增强了气体反应速率，从而提高了薄膜沉积速率。

    3、良好的膜质量：PECVD沉积的薄膜通常具有较好的均匀性和较低的缺陷密度，适用于需要高质量薄膜的应用。

    4、适应性强：可以沉积多种材料，包括氧化物、氮化物和氟化物等，广泛应用于半导体、光电器件和保护涂层等领域。

    5、控制性好：通过调整等离子体的参数（如功率、气体流量和压力），可以精确控制薄膜的成分和性质。

    加热炉参数

    ?最高温度：1200ºC（<30min），连续工作温度：1100℃；

    ?两个PID温度控制器及30段可编程温控系统；

    ?输入功率：208-240V，单相，最大功率：2.5KW；

    ?高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗；

    ?回转炉旋转速度：2-10rpm；

    ?炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。

产物咨询

兔子先生传媒文化作品

留言框

产物：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：